氩气
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氩气的应用:
氩气是采用空气分离提氩,即将液化的空气进行精馏,得到粗氩抽出粗氩,经进一步提纯可得到高纯氩。
1.高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;
2.可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用;
3.焊接保护气;
4.在钛、钴和其他活性金属的生产中用作屏蔽气;
5.在黑色冶金中用于吹炼特种钢;
6.高纯氩也可作为色谱载气。氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管。

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