高纯氧是以氧气（O₂）为主成分的无色无臭无味气体，纯度≥99.995%，杂质含量极低。物理性质稳定但不可燃且具有强助燃性，能与多数元素发生氧化反应。 应用于半导体工业的化学气相沉积、等离子刻蚀，冶金工业的炼钢除杂、金属焊接切割，以及航天推进剂、水处理等领域。